SPT-20 là thiết bị phủ kim loại bằng phương pháp phún xạ ion (Ion Sputter Coater), dùng để phủ lớp vàng/platinum/palladium lên bề mặt mẫu, hỗ trợ quan sát SEM. Các mẫu không dẫn điện sau khi được phủ có thể quan sát dưới kính hiển vi điện tử; lớp phủ giúp bảo vệ bề mặt mẫu khỏi chùm tia điện tử chiếu vào và hỗ trợ dẫn điện, giúp hình ảnh quan sát rõ nét hơn. Thiết bị cũng có thể được sử dụng để tạo điện cực dạng màng mỏng.

Hãng sản xuất: COXEM – Hàn Quốc
Model: SPT-20

Đặc điểm nổi bật:

• Máy phủ ion kỹ thuật số

• Hệ thống phủ chân không; thao tác phủ một chạm từ áp suất khí quyển

• Lớp phủ ổn định với chức năng phản hồi dòng phủ

• Có thể sử dụng với nhiều loại bia kim loại khác nhau

• Sử dụng bơm chân không quay (rotary pump) độ ồn thấp

Thông số kỹ thuật chính

• Nguồn điện tiêu thụ: AC 220V, 300W
• Kích thước: 420 (Rộng) × 220 (Sâu) × 230 mm
• Khối lượng: 10 kg
• Target kim loại phủ: Vàng / Platinum / Palladium
  • Kích thước target tiêu chuẩn: Đường kính 50.8 mm × dày 0.1 mm
  • Mặc định lắp sẵn target Vàng
• Độ chân không vận hành: Khoảng 0.1 Torr
• Điện áp ion tối đa: ~ 3 kV
• Dòng ion: 1 – 9 mA
• Thời gian phủ: 10 – 700 giây
• Bơm chân không: Bơm quay 50L