IP-10K là phiên bản nâng cấp của thiết bị đánh bóng bằng chùm ion (Ion Beam Polisher) của COXEM, được trang bị nhiều tùy chọn như gia công phẳng (flat-milling), bàn làm mát và mô-đun bảo vệ bằng không khí, giúp nâng cao hiệu suất và tính linh hoạt cho nhiều ứng dụng khác nhau. Thiết bị mang lại khả năng gia công chính xác vượt trội ở cấp độ vi mô, đảm bảo độ sạch và độ chính xác cao.
Hãng sản xuất: COXEM Korea Co., Ltd.
Model: IP-10K
Xuất xứ: Hàn Quốc
- Súng Ion
- Hệ thống: Súng ion kiểu Penning
- Điện áp gia tốc: 2 – 8 kV
- Điều khiển lưu lượng khí Ar: Bộ điều khiển lưu lượng khối độ chính xác cao
- Tốc độ mài:
- Mài mặt cắt ngang: ~1.000 µm/giờ (tại 8 kV trên wafer Si)
- Bàn gá mài mặt cắt
- Di chuyển trục X: ±3.5 mm
- Di chuyển trục Y: ±2 mm
- Góc lắc mẫu: ±35°
- Kích thước mẫu tối đa: 20mm(W) x 10mm(L) x 5.5mm(T) / 16mm(W) x 10(L) x 9.5(T)mm
- Jig căn chỉnh chiều cao mẫu: 30 µm / 50 µm / 80 µm
- Chế độ lắc: 4 bước (Mode 1, 2, 3, 4)
- Camera trong buồng
- Độ phóng đại: 5x / 10x / 20x / 40x
- Điều chỉnh độ sáng: 4 mức
- Cảm biến: CMOS 5 Megapixel
- Chế độ quan sát: Quan sát chùm tia ion
- Kính hiển vi số căn chỉnh mẫu
- Độ phóng đại: 5x / 10x / 20x / 40x
- Kết nối: USB
- Màn hình hiển thị
- Độ phân giải: 1024 × 600
- Kích thước: 7 inch cảm ứng
- Góc nhìn camera buồng: 65°
- Tấm nền: IPS
- Hệ thống bơm chân không
- Bơm Turbo: 66 L/s cho N₂
- Bơm màng: 1.4 m³/h
- Đặc điểm: Không dầu hoàn toàn (Oil-Free)
- Khí sử dụng: Khí khô, không ăn mòn
- Kích thước & Trọng lượng hệ thống
- Trọng lượng: 45 kg
- Kích thước máy: 640(W) × 492(D) × 282(465)(H) mm
- Tùy chọn (Options)
Hệ thống bảo vệ khí cho CP-10K
- Module bảo vệ khí – 1 bộ
Hệ thống làm mát
- Bàn làm mát Peltier (-20°C ~) – 1 bộ
- Bộ làm lạnh nước (Water Chiller) – 1 bộ
