COXEM CX-300 là hệ kính hiển vi điện tử quét (SEM) cao cấp dành cho trung tâm nghiên cứu vật liệu, phòng thí nghiệm phân tích chuyên sâu và doanh nghiệp R&D yêu cầu độ phân giải cao, buồng mẫu lớn và khả năng mở rộng đa kỹ thuật phân tích. Thiết bị tích hợp phần mềm NanoStation 5, bàn mẫu motorized đa trục kích thước lớn cùng tùy chọn EDS, EBSD, STEM, Cool Stage, đáp ứng đa dạng ứng dụng từ vật liệu kim loại đến sinh học.

Điểm nổi bật của COXEM CX-300

• Độ phân giải 3.0 nm (30kV, SE)
• Độ phóng đại hiển thị lên đến x500,000
• Bàn mẫu motorized 5 trục kích thước lớn: X / Y / Z / Tilt / Rotation
• Buồng mẫu rộng – phù hợp mẫu kích thước lớn & holder chuyên dụng
• Auto Focus – Auto Contrast/Brightness
• Quad Display – hiển thị 4 khung hình đồng thời
• Panorama 2.0 – ghép ảnh diện rộng
• Chamber Camera quan sát mẫu trong buồng

Thông số kỹ thuật chính

Hạng mục	Thông số
Độ phân giải	3.0 nm (30kV, SE)
Súng điện tử	Tungsten Filament
Độ phóng đại ảnh	x6 – x300,000
Độ phóng đại hiển thị	x9 – x500,000
Digital Zoom	x1 – x12
Điện áp gia tốc	1 – 30 kV
Detector	SE, BSE (EDS, EBSD, STEM – Option)
Image Shift	±25 µm
Bàn mẫu	X 100mm / Y 100mm / Z 5–60mm / Tilt −20°~90° / Rotation 0–360°
Định dạng ảnh	JPG, TIFF, BMP, PNG
Hệ chân không	Bơm quay (100 lít/phút) và bơm turbo phân tử – TMP (80 lít/giây)
Nguồn điện	110 / 220V – 1.5 kVA (3 kVA khi gắn EDS)

Phần mềm

Tự động bão hòa filament

Tự động lấy nét

Tự động tương phản/độ sáng

Hiển thị 4 khung hình (Quad Display)

Panorama 2.0

Đo biên dạng đường (Line Profile)

Ghép ảnh SE + BSE

Chia đôi ảnh SE/BSE

Ứng dụng tiêu biểu

• Phân tích vật liệu kim loại & hợp kim cao cấp
• Bán dẫn – vi điện tử – wafer
• Polymer – composite – nhựa kỹ thuật
• Pin – năng lượng – vật liệu mới
• Sinh học – mẫu ướt – thực phẩm (Cool Stage)
• Trung tâm kiểm định & R&D chuyên sâu
• Phân tích cấu trúc tinh thể & nguyên tố

Ưu điểm nổi bật so với SEM phổ thông

• Buồng & bàn mẫu lớn nhất trong dòng CX
• Khả năng mở rộng đa kỹ thuật phân tích trong cùng 1 hệ
• Độ ổn định hình ảnh cao
• Phù hợp phòng lab nghiên cứu chuyên sâu & viện khoa học
• Linh hoạt nhiều loại holder & mẫu kích thước lớn
• Tối ưu cho hệ SEM + EDS + EBSD + STEM all-in-one