EM-30N là kính hiển vi điện tử quét để bàn (SEM) nhỏ gọn nhưng mạnh mẽ, cho hình ảnh sắc nét ở độ phóng đại lên đến 150.000 lần. Thiết bị phù hợp cho phòng thí nghiệm nghiên cứu, QA/QC công nghiệp, giáo dục đại học và các ứng dụng phân tích vật liệu – bán dẫn – sinh học.
Hiệu năng cao – Vận hành đơn giản – Chi phí tối ưu
- Độ phân giải < 5 nm
- Độ phóng đại 15x – 150.000x
- Điện áp gia tốc 1 – 30 kV
- Dual Display & Signal Mixing (khả dụng khi trang bị đầu dò BSE tùy chọn)
- Low Vacuum Mode: Phân tích mẫu không dẫn điện mà không cần xử lý phủ vàng
- Panorama Shot: Ghép ảnh diện tích lớn ở độ phóng đại cao
- Auto Focus / Auto Brightness & Contrast: Tối ưu hình ảnh trong vài giây
- Thiết kế để bàn, dễ lắp đặt
- Tương thích EDS / STEM / Cool Stage: Mở rộng khả năng phân tích
Thông Số Kỹ Thuật Chính
| Thông số | Giá trị |
| Nguồn electron | Tungsten Filament |
| Độ phân giải | < 5 nm |
| Độ phóng đại | 15x – 150.000x |
| Điện áp gia tốc | 1 – 30 kV |
| Bàn mẫu | X : 35mm, Y : 35mm, Tilt : 0 ~ 45° |
| Detector | SE (Option: BSE, EDS) |
| Hệ chân không | Turbo Pump + Rotary Pump |
| Kích thước máy | 400(W) × 630(L) × 600(H)mm |
| Trọng lượng | 85 kg |
| Định dạng xuất ảnh | JPG, TIFF, BMP, PNG |
| Phần mềm |
| Tự động bão hòa sợi đốt |
| Tự động lấy nét |
| Tự động điều chỉnh tương phản/độ sáng trong vài giây |
| Điều hướng kép (Camera CCD + Bản đồ thu nhỏ) |
| Ghép ảnh toàn cảnh Panorama phiên bản 1.0 |
| Đo biên dạng đường (đo mặt cắt đường) |
| Ghép ảnh SE và BSE |
| Chia đôi ảnh SE và BSE |
Ứng Dụng Tiêu Biểu của thiết bị EM-30N
- Vật Liệu & Công Nghiệp
- Điện Tử – Bán Dẫn
- Sinh Học – Y Sinh – Thực Phẩm
- Giáo Dục & Nghiên Cứu Nano
Ưu điểm so với SEM truyền thống
- Kích thước nhỏ gọn – không cần phòng SEM riêng lớn
- Chi phí đầu tư & vận hành thấp
- Dễ sử dụng
- Cài đặt nhanh
- Linh hoạt nhiều loại mẫu
