Đầu dò Electron tán xạ ngược (BSE Detector) của COXEM xác định các Electron tán xạ ngược là các electron năng lượng cao được tạo ra do tương tác đàn hồi giữa chùm electron sơ cấp và bề mặt mẫu.

Đặc điểm nổi bật:

1. Đầu dò BSE bán dẫn 4 kênh
2. Hình ảnh ranh giới kim loại rõ nét
3. Hình ảnh nổi khối (3D) tốt hơn so với đầu dò SE
4. Tùy chọn lắp thêm cho cả dòng EM Series và CX Series
5. Điều khiển phần mềm dễ dàng thông qua bảng mạch số
6. Cho hình ảnh rõ với mẫu không phủ kim loại khi sử dụng chế độ điện áp thấp (LV Mode)

Thông số kỹ thuật đầu dò electron tán xạ ngược BSE:

• Độ phân giải: 10 nm
• Số kênh: 4 kênh, loại bán dẫn (solid type)
• Chế độ hình ảnh:
  • Topography (địa hình bề mặt)
  • Composition (thành phần vật liệu)
  • Hỗ trợ hiển thị kép (Dual Display)