COXEM CX-300 là hệ kính hiển vi điện tử quét (SEM) cao cấp dành cho trung tâm nghiên cứu vật liệu, phòng thí nghiệm phân tích chuyên sâu và doanh nghiệp R&D yêu cầu độ phân giải cao, buồng mẫu lớn và khả năng mở rộng đa kỹ thuật phân tích. Thiết bị tích hợp phần mềm NanoStation 5, bàn mẫu motorized đa trục kích thước lớn cùng tùy chọn EDS, EBSD, STEM, Cool Stage, đáp ứng đa dạng ứng dụng từ vật liệu kim loại đến sinh học.
Điểm nổi bật của COXEM CX-300
- Độ phân giải 3.0 nm (30kV, SE)
- Độ phóng đại hiển thị lên đến x500,000
- Bàn mẫu motorized 5 trục kích thước lớn: X / Y / Z / Tilt / Rotation
- Buồng mẫu rộng – phù hợp mẫu kích thước lớn & holder chuyên dụng
- Auto Focus – Auto Contrast/Brightness
- Quad Display – hiển thị 4 khung hình đồng thời
- Panorama 2.0 – ghép ảnh diện rộng
- Chamber Camera quan sát mẫu trong buồng
Thông số kỹ thuật chính
| Hạng mục | Thông số |
| Độ phân giải | 3.0 nm (30kV, SE) |
| Súng điện tử | Tungsten Filament |
| Độ phóng đại ảnh | x6 – x300,000 |
| Độ phóng đại hiển thị | x9 – x500,000 |
| Digital Zoom | x1 – x12 |
| Điện áp gia tốc | 1 – 30 kV |
| Detector | SE, BSE (EDS, EBSD, STEM – Option) |
| Image Shift | ±25 µm |
| Bàn mẫu | X 100mm / Y 100mm / Z 5–60mm / Tilt −20°~90° / Rotation 0–360° |
| Định dạng ảnh | JPG, TIFF, BMP, PNG |
| Hệ chân không | Bơm quay (100 lít/phút) và bơm turbo phân tử – TMP (80 lít/giây) |
| Nguồn điện | 110 / 220V – 1.5 kVA (3 kVA khi gắn EDS) |
| Phần mềm |
| Tự động bão hòa filament |
| Tự động lấy nét |
| Tự động tương phản/độ sáng |
| Hiển thị 4 khung hình (Quad Display) |
| Panorama 2.0 |
| Đo biên dạng đường (Line Profile) |
| Ghép ảnh SE + BSE |
| Chia đôi ảnh SE/BSE |
Ứng dụng tiêu biểu
- Phân tích vật liệu kim loại & hợp kim cao cấp
- Bán dẫn – vi điện tử – wafer
- Polymer – composite – nhựa kỹ thuật
- Pin – năng lượng – vật liệu mới
- Sinh học – mẫu ướt – thực phẩm (Cool Stage)
- Trung tâm kiểm định & R&D chuyên sâu
- Phân tích cấu trúc tinh thể & nguyên tố
Ưu điểm nổi bật so với SEM phổ thông
- Buồng & bàn mẫu lớn nhất trong dòng CX
- Khả năng mở rộng đa kỹ thuật phân tích trong cùng 1 hệ
- Độ ổn định hình ảnh cao
- Phù hợp phòng lab nghiên cứu chuyên sâu & viện khoa học
- Linh hoạt nhiều loại holder & mẫu kích thước lớn
- Tối ưu cho hệ SEM + EDS + EBSD + STEM all-in-one
